| 암호# | 524-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| 반복 가능성 | 2 um |
| 암호# | 523-180R |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (2600*1600)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤4.0+L/200(um) |
| 암호# | 523-220H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤2.5+L/200(㎛) |
| 비메아322A | 524-220G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| 반복 가능성 | 2 um |
| 암호# | 523-280N |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (1200*1000) mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤2.5+L/200(㎛) |
| 암호# | 523-380J |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
| 암호# | 522-280G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.1 um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
| 암호# | 525-380K |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*500)mm |
| Z축 이동 | 300mm |
| X/Y/Z 축 선형 스케일 | 해상도: 0.1um |
| 가이드 모드 | 정밀 선형 안내 레일 |
| 암호# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| 반복 가능성 | 2 um |
| 암호# | 522-180J |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.1 um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
