암호# | 523-180Q |
---|---|
X/Y 축 이동 | (1800*1200) mm |
Z축 이동 | 200MM |
X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
XY 축 정확도 | ≤3.5+L/200 ((um) |
암호# | 502-120G |
---|---|
X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
차원(WxDxH) | (1237*740*1664)mm |
무게 | 380kg |
Z축 이동 | 200MM |
암호# | 522-180H |
---|---|
X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
Z축 이동 | 200MM |
X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.1 um |
XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |