| 암호# | 512-400 |
|---|---|
| 작업 스테이지 크기 | 455x126mm |
| 작업 단계 여행 | 300x150mm |
| 초점 | 120mm |
| 정확성 | ≤3+L/200(um) |
| 암호# | 512-400 |
|---|---|
| 작업 스테이지 크기 | 455x126mm |
| 작업 단계 여행 | 300x150mm |
| 초점 | 120mm |
| 정확성 | ≤3+L/200(um) |
| 암호# | 512-400 |
|---|---|
| 작업 스테이지 크기 | 455x126mm |
| 작업 단계 여행 | 300x150mm |
| 초점 | 120mm |
| 정확성 | ≤3+L/200(um) |
| 암호# | 511-420 |
|---|---|
| 금속 스테이지 크기 | 308x408mm |
| 유리 스테이지 크기 | 198x306mm |
| 스테이지 이동 범위 | 250X150MM |
| 제품 차원 | 1003x617x1309mm |
| 암호# | 510-340 |
|---|---|
| LCD 스크린 크기 | 115mm×85mm |
| LCD 화면 해상도 | 640*480 |
| 디스플레이 축 | 3축(X,Y,Z/Q) |
| 선형 스케일 해상도 | 0.1um, 0.2um, 0.5um, 1um, 2um, 5um |
| 암호# | 512-350 |
|---|---|
| 작업 스테이지 크기 | 355x126mm |
| 작업 단계 여행 | 200x100mm |
| 초점 | 90mm |
| 정확성 | ≤3+L/200(um) |
| 암호# | 511-410 |
|---|---|
| 금속 스테이지 크기 | 308x408mm |
| 유리 스테이지 크기 | 198x306mm |
| 스테이지 이동 범위 | 200x100mm |
| 제품 차원 | 1003x617x1309mm |
| 암호# | 511-420 |
|---|---|
| 금속 스테이지 크기 | 308x408mm |
| 유리 스테이지 크기 | 198x306mm |
| 스테이지 이동 범위 | 250X150MM |
| 제품 차원 | 1003x617x1309mm |
| 암호# | 511-330 |
|---|---|
| 금속 스테이지 크기 | 258x308mm |
| 유리 스테이지 크기 | 148x206mm |
| 스테이지 이동 범위 | 150x100mm |
| 제품 차원 | 988x563x1157mm |
| 암호# | 511-340 |
|---|---|
| 금속 스테이지 크기 | 258x358mm |
| 유리 스테이지 크기 | 148x256mm |
| 스테이지 이동 범위 | 200x100mm |
| 제품 차원 | 988x563x1157mm |
