| 암호# | 512-400 |
|---|---|
| 작업 스테이지 크기 | 455x126mm |
| 워킹스테이지 트래블 | 300x150mm |
| 포커싱 | 120mm |
| 정확성 | ≤3+L/200(um) |
| 암호# | 512-400 |
|---|---|
| 작업 스테이지 크기 | 455x126mm |
| 워킹스테이지 트래블 | 300x150mm |
| 포커싱 | 120mm |
| 정확성 | ≤3+L/200(um) |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| 암호# | 511-410 |
|---|---|
| 금속 스테이지 크기 | 308x408mm |
| 유리 스테이지 크기 | 198x306mm |
| 스테이지 이동 범위 | 200x100mm |
| 제품 치수 | 1003x617x1309mm |
| 암호# | 525-020P |
|---|---|
| 화강암 무대 | (310*220)mm |
| 글래스 스테이지 | (179.5*129.5) mm |
| X/Y 축 이동 | (150*100)mm |
| X/Y 선형 스케일 | 해상도: 0.5um |
| 암호# | 511-330 |
|---|---|
| 금속 스테이지 크기 | 258x308mm |
| 유리 스테이지 크기 | 148x206mm |
| 스테이지 이동 범위 | 150x100mm |
| 제품 치수 | 988x563x1157mm |
| 암호# | 510-340 |
|---|---|
| LCD 스크린 크기 | 115mm×85mm |
| LCD 화면 해상도 | 640*480 |
| 디스플레이 축 | 3축(X,Y,Z/Q) |
| 리니어 스케일 결의안 | 0.1um, 0.2um, 0.5um, 1um, 2um, 5um |
| Code# | 525-020GP |
|---|---|
| Granite Stage | (505*350)mm |
| Glass Stage | (356*248)mm |
| X/Y Axis Travel | (300*200)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
