| 암호# | 529-120J |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| XY 축 정확도 | ≤3.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 527-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| XY 축 정확도 | ≤2.0+L/200(㎛) |
| 측정 범위 | 115*145*75mm |
|---|---|
| 정확성 | ±1.5μm |
| 용량 | 5Kg |
| 반복 가능성 | ±1.5μm |
| 최소 단위 | 0.1μm |
| 측정 범위 | 215*145*75mm |
|---|---|
| 정확성 | ±1.5μm |
| 용량 | 5Kg |
| 반복 가능성 | ±1.5μm |
| 최소 단위 | 0.1μm |
| 측정 범위 | φ100mm |
|---|---|
| 정확성 | ±1.5μm |
| 용량 | 5Kg |
| 반복 가능성 | ±1.5μm |
| 최소 단위 | 0.1μm |
| 암호# | 500-030 |
|---|---|
| 렌즈 | 0.3X 더블 텔레센트릭 렌즈 |
| 작업 거리 | 110mm |
| 와이드 필드 | 직경 30mm(28x24) |
| 측정 정확도 | ±2um |
| 암호# | 525-120G |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (505*350)mm |
| 유리 작업대 | (356*248)mm |
| X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| 암호# | 521-320F |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (408*308)mm |
| 유리 작업대 | (306*198)mm |
| X/Y 축 이동 | (250*150) mm |
| Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
| 암호# | 521-320J |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (650*580) mm |
| 유리 작업대 | (540*440) mm |
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
| 암호# | 525-120H |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (605*450)mm |
| 유리 작업대 | (456*348)mm |
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |