| 암호# | 523-180M |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (1500*1200)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤3.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 523-280L |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (800*600)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
| 암호# | 523-180M |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (1000*800)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤2.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 503-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| 차원(WxDxH) | (1195*832*1579)mm |
| 무게 | 650kg |
| Z축 이동 | 200mm |
| 암호# | 503-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| 차원(WxDxH) | (1195*832*1579)mm |
| 무게 | 650kg |
| Z축 이동 | 200mm |
| 암호# | 502-320J |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| 차원(WxDxH) | (1437*940*1664)mm |
| 무게 | 750kg |
| Z축 이동 | 200mm |
| 암호# | 502-320J |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| 차원(WxDxH) | (1437*940*1664)mm |
| 무게 | 750kg |
| Z축 이동 | 200mm |
| 암호# | 503-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| 차원(WxDxH) | (1195*832*1579)mm |
| 무게 | 650kg |
| Z축 이동 | 200mm |
| 암호# | 529-120G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| XY 축 정확도 | ≤2.5+L/200(㎛) |
| 암호# | 529-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| XY 축 정확도 | ≤3.0+L/200(㎛) |
