| 암호# | 525-020D |
|---|---|
| 화강암 작업대 | (310*220)mm |
| 유리 작업대 | (179.5*129.5)mm |
| X/Y 축 이동 | (150*100)mm |
| Z축 이동 | 100 밀리미터 |
| 암호# | 525~320H |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (605*450)mm |
| 유리 작업대 | (456*348)mm |
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| 암호# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| 반복 가능성 | 2 um |
| 암호# | 524-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| 반복 가능성 | 2 um |
| 암호# | 525-020P |
|---|---|
| 화강암 무대 | (310*220)mm |
| 글래스 스테이지 | (179.5*129.5) mm |
| X/Y 축 이동 | (150*100)mm |
| X/Y 선형 스케일 | 해상도: 0.5um |
| 암호# | 525-120H |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (605*450)mm |
| 유리 작업대 | (456*348)mm |
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| 암호# | 525-120G |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (505*350)mm |
| 유리 작업대 | (356*248)mm |
| X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| 암호# | 525-020D |
|---|---|
| 화강암 작업대 | (310*220)mm |
| 유리 작업대 | (179.5*129.5)mm |
| X/Y 축 이동 | (150*100)mm |
| Z축 이동 | 100 밀리미터 |
| 암호# | 523-220H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤2.5+L/200(㎛) |
| 비메아322A | 524-220G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| 반복 가능성 | 2 um |
