| 암호# | 525-020D |
|---|---|
| 화강암 작업대 | (310*220)mm |
| 유리 작업대 | (179.5*129.5)mm |
| x/y 축 이동 | (150*100)mm |
| Z 축 이동 | 100mm |
| 암호# | 525-020dp |
|---|---|
| 화강암 단계 | (310*220) mm |
| 유리 무대 | (179.5*129.5) mm |
| x/y 축 이동 | (150*100) mm |
| 선형 스케일 | 해상도 : 0.5um |
| 암호# | 525-120H |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (605*450)mm |
| 유리 작업대 | (456*348)mm |
| x/y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z 축 이동 | 200mm |
| 암호# | 525~320H |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (605*450)mm |
| 유리 작업대 | (456*348)mm |
| x/y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z 축 이동 | 200mm |
| 암호# | 525-120G |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (505*350) mm |
| 유리 작업대 | (356*248) mm |
| x/y 축 이동 | (300*200) mm |
| Z 축 이동 | 200mm |
| 암호# | 525-020D |
|---|---|
| 화강암 작업대 | (310*220)mm |
| 유리 작업대 | (179.5*129.5)mm |
| x/y 축 이동 | (150*100)mm |
| Z 축 이동 | 100mm |
| 암호# | 529-120G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200) mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도 : 0.5um |
| XY 축 정확도 | ≤2.5+L/200(㎛) |
| 암호# | 525-020P |
|---|---|
| 화강암 단계 | (310*220) mm |
| 유리 무대 | (179.5*129.5) mm |
| x/y 축 이동 | (150*100) mm |
| X/Y 선형 스케일 | 해상도 : 0.5um |
| 암호# | 521-420J |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (650*580) mm |
| 유리 작업대 | (540*440) mm |
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
| 암호# | 524-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도 : 0.5um |
| 반복성 | 2UM |
