| 암호# | 502-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| 차원(WxDxH) | (1337*840*1664)mm |
| 무게 | 600KG |
| Z축 이동 | 200MM |
| 암호# | 520-020 |
|---|---|
| 작업대 | (245x180)mm |
| 유리 작업대 | (130x130)mm |
| X/Y 축 이동 | (100*100)mm |
| X/Y 축 해상도 | 해상도: 0.5um |
| 암호# | 525-120H |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (605*450)mm |
| 유리 작업대 | (456*348)mm |
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| 암호# | 525~320H |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (605*450)mm |
| 유리 작업대 | (456*348)mm |
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| 암호# | 525-020D |
|---|---|
| 화강암 작업대 | (310*220)mm |
| 유리 작업대 | (179.5*129.5)mm |
| X/Y 축 이동 | (150*100)mm |
| Z축 이동 | 100 밀리미터 |
| 암호# | 525-020D |
|---|---|
| 화강암 작업대 | (310*220)mm |
| 유리 작업대 | (179.5*129.5)mm |
| X/Y 축 이동 | (150*100)mm |
| Z축 이동 | 100 밀리미터 |
| 암호# | 500-080 |
|---|---|
| 렌즈 | 0.088X 더블 텔레센트릭 렌즈 |
| 작업 거리 | 120mm |
| 와이드 필드 | Ø116mm(94x76) |
| 측정 정확도 | ±4um |
| 암호# | 523-220H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤2.5+L/200(㎛) |
| 비메아322A | 524-220G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| 반복 가능성 | 2 um |
| 비메아322A | 524-120G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| 반복 가능성 | 2 um |
