| 암호# | 502-320G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
| 차원(WxDxH) | (1237*740*1664)mm |
| 무게 | 380kg |
| Z축 이동 | 200mm |
| 암호# | 502-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| 차원(WxDxH) | (1337*840*1664)mm |
| 무게 | 600KG |
| Z축 이동 | 200MM |
| 암호# | 503-120J |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| 차원(WxDxH) | (1463*940*1591)mm |
| 무게 | 780 킬로그램 |
| Z축 이동 | 200MM |
| 암호# | 502-320J |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| 차원(WxDxH) | (1437*940*1664)mm |
| 무게 | 750kg |
| Z축 이동 | 200mm |
| 암호# | 503-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| 차원(WxDxH) | (1195*832*1579)mm |
| 무게 | 650kg |
| Z축 이동 | 200mm |
| 암호# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| 반복 가능성 | 2 um |
| 암호# | 500-030 |
|---|---|
| 렌즈 | 0.3X 더블 텔레센트릭 렌즈 |
| 작업 거리 | 110mm |
| 와이드 필드 | 직경 30mm(28x24) |
| 측정 정확도 | ±2um |
| 암호# | 529-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| XY 축 정확도 | ≤3.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 523-280N |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (1200*1000) mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤2.5+L/200(㎛) |
| 암호# | 502-120G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
| 차원(WxDxH) | (1237*740*1664)mm |
| 무게 | 380kg |
| Z축 이동 | 200MM |
