| 암호# | 525-020P |
|---|---|
| 화강암 무대 | (310*220)mm |
| 글래스 스테이지 | (179.5*129.5) mm |
| X/Y 축 이동 | (150*100)mm |
| X/Y 선형 스케일 | 해상도: 0.5um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| 암호# | 542-310 |
|---|---|
| 워킹스테이지 트래블 | 355x125mm |
| X/Y 주축 여행 | 200x120mm |
| Z 축 | 110 밀리미터 |
| 측정 정확도 | ≤3+L/200um |
| 암호# | 525-380K |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*500)mm |
| Z축 이동 | 300mm |
| X/Y/Z 축 선형 스케일 | 해상도: 0.1um |
| 가이드 모드 | 정밀 선형 안내 레일 |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| 암호# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| 반복 가능성 | 2 um |
| 암호# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| 반복 가능성 | 2 um |
| 암호# | 529-120J |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| XY 축 정확도 | ≤3.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 529-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| XY 축 정확도 | ≤3.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 529-120G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| XY 축 정확도 | ≤2.5+L/200(㎛) |
