| 암호# | 542-310 |
|---|---|
| 작업 단계 여행 | 355x125mm |
| x/y 축 이동 | 200x120mm |
| z 축 | 110mm |
| 측정 정확도 | ≤3+l/200um |
| 암호# | 542-310 |
|---|---|
| 작업 단계 여행 | 355x125mm |
| x/y 축 이동 | 200x120mm |
| z 축 | 110mm |
| 측정 정확도 | ≤3+l/200um |
| 암호# | 525-380K |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*500)mm |
| Z축 이동 | 300MM |
| X/Y/Z 축 선형 스케일 | 해상도: 0.1um |
| 가이드 모드 | 정밀 선형 안내 레일 |
| 암호# | 542-310 |
|---|---|
| 작업 단계 여행 | 355x125mm |
| x/y 축 이동 | 200x120mm |
| z 축 | 110mm |
| 측정 정확도 | ≤3+l/200um |
| 암호# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도 : 0.5um |
| 반복성 | 2UM |
| 암호# | 529-120J |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도 : 0.5um |
| XY 축 정확도 | ≤3.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 529-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도 : 0.5um |
| XY 축 정확도 | ≤3.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 529-120G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200) mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도 : 0.5um |
| XY 축 정확도 | ≤2.5+L/200(㎛) |
| 암호# | 525-020ep |
|---|---|
| 화강암 단계 | (390*220) mm |
| 유리 무대 | (229.5*129.5) mm |
| x/y 축 이동 | (200*100) mm |
| 선형 스케일 | 해상도 : 0.5um |
| 암호# | 511-420 |
|---|---|
| 금속 스테이지 크기 | 308x408mm |
| 유리 스테이지 크기 | 198x306mm |
| 스테이지 이동 범위 | 250X150MM |
| 제품 차원 | 1003x617x1309mm |
