암호# | 525-020P |
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화강암 무대 | (310*220)mm |
글래스 스테이지 | (179.5*129.5) mm |
X/Y 축 이동 | (150*100)mm |
X/Y 선형 스케일 | 해상도: 0.5um |
암호# | 525-020P |
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화강암 무대 | (310*220)mm |
글래스 스테이지 | (179.5*129.5) mm |
X/Y 축 이동 | (150*100)mm |
X/Y 선형 스케일 | 해상도: 0.5um |
암호# | 512-400 |
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작업 스테이지 크기 | 455x126mm |
워킹스테이지 트래블 | 300x150mm |
포커싱 | 120mm |
정확성 | ≤3+L/200(um) |
암호# | 512-350 |
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작업 스테이지 크기 | 355x126mm |
워킹스테이지 트래블 | 200x100mm |
포커싱 | 90 밀리미터 |
정확성 | ≤3+L/200(um) |
암호# | 511-330 |
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금속 스테이지 크기 | 258x308mm |
유리 스테이지 크기 | 148x206mm |
스테이지 이동 범위 | 150x100mm |
제품 치수 | 988x563x1157mm |
암호# | 542-310 |
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워킹스테이지 트래블 | 355x125mm |
X/Y 주축 여행 | 200x120mm |
Z 축 | 110 밀리미터 |
측정 정확도 | ≤3+L/200um |
암호# | 511-420 |
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금속 스테이지 크기 | 308x408mm |
유리 스테이지 크기 | 198x306mm |
스테이지 이동 범위 | 250X150MM |
제품 치수 | 1003x617x1309mm |