| 암호# | 523-280N |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (1200*1000) mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤2.5+L/200(㎛) |
| 암호# | 523-180R |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (2600*1600)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤4.0+L/200(um) |
| 암호# | 523-380J |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
| 암호# | 521-320H |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (608*470) mm |
| 유리 작업대 | (456*348)mm |
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
| 암호# | 823-170-2005 |
|---|---|
| 로딩·시스템 | 자동 |
| 모터화 XY 스테이지 | 미니 스텝 모터, 크기 L:180*W:140mm |
| XY 스테이지 스트로크 | 50x50mm |
| 최소 단계 | 0.625um |
| 암호# | 520-020 |
|---|---|
| 작업대 | (245x180)mm |
| 유리 작업대 | (130x130)mm |
| X/Y 축 이동 | (100*100)mm |
| X/Y 축 해상도 | 해상도: 0.5um |
| 암호# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| 반복 가능성 | 2 um |
| 비메아322A | 524-120G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| 반복 가능성 | 2 um |
| 암호# | 525-120H |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (605*450)mm |
| 유리 작업대 | (456*348)mm |
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| 암호# | 525-120G |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (505*350)mm |
| 유리 작업대 | (356*248)mm |
| X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
