| 암호# | 523-280K |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (600*500)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
| 암호# | 525-380K |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*500)mm |
| Z축 이동 | 300MM |
| X/Y/Z 축 선형 스케일 | 해상도: 0.1um |
| 가이드 모드 | 정밀 선형 안내 레일 |
| 암호# | 523-280N |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (1200*1000) mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤2.5+L/200(㎛) |
| 암호# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도 : 0.5um |
| 반복성 | 2UM |
| 암호# | 529-120J |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도 : 0.5um |
| XY 축 정확도 | ≤3.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 529-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도 : 0.5um |
| XY 축 정확도 | ≤3.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 529-120G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200) mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도 : 0.5um |
| XY 축 정확도 | ≤2.5+L/200(㎛) |
| 암호# | 500-030 |
|---|---|
| 렌즈 | 0.3X 더블 텔레센트릭 렌즈 |
| 작업 거리 | 110 mm |
| 와이드 필드 | 직경 30mm(28x24) |
| 측정 정확도 | ±2um |
| 암호# | 오토비키 ZHV-WH0503 |
|---|---|
| 목표 | 10×, 40× |
| 데이터 입력 | 오토매틱 |
| 작은 탑 | 오토매틱 |
| 최대 표본의 높이 | 170mm |
| 암호# | 525-020dp |
|---|---|
| 화강암 단계 | (310*220) mm |
| 유리 무대 | (179.5*129.5) mm |
| x/y 축 이동 | (150*100) mm |
| 선형 스케일 | 해상도 : 0.5um |