암호# | 524-220H |
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X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
Z축 이동 | 200MM |
X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
반복 가능성 | 2 um |
암호# | 523-280N |
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X/Y 축 이동 | (1200*1000) mm |
Z축 이동 | 200MM |
X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
XY 축 정확도 | ≤2.5+L/200(㎛) |
암호# | 502-120G |
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X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
차원(WxDxH) | (1237*740*1664)mm |
무게 | 380kg |
Z축 이동 | 200MM |
암호# | 524-220H |
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X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
Z축 이동 | 200MM |
X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
반복 가능성 | 2 um |
암호# | 524-120H |
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X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
Z축 이동 | 200MM |
X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
반복 가능성 | 2 um |