| 암호# | 523-280K |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (600*500)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
| 암호# | 523-280L |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (800*600)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
| 암호# | 523-180M |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (1500*1200)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤3.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 523-180R |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (2600*1600)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤4.0+L/200(um) |
| 암호# | 523-480L |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (800*600)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
| 암호# | 523-380J |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
| 암호# | 528~180H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*400)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1mm |
| XY 축 정확도 | ≤1.2+L/200 ((um) |
| 암호# | 502-320G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200) mm |
| 크기(WxDxH) | (1237*740*1664)mm |
| 무게 | 380kg |
| Z축 이동 | 200mm |
| 암호# | 502-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| 크기(WxDxH) | (1337*840*1664)mm |
| 무게 | 600kg |
| Z축 이동 | 200mm |
| 암호# | 503-120J |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| 크기(WxDxH) | (1463*940*1591)mm |
| 무게 | 780kg |
| Z축 이동 | 200mm |
