| 측정 범위 | 115*145*75mm |
|---|---|
| 정확성 | ±1.5μm |
| 용량 | 5Kg |
| 반복 가능성 | ±1.5μm |
| 최소 단위 | 0.1μm |
| 측정 범위 | 215*145*75mm |
|---|---|
| 정확성 | ±1.5μm |
| 용량 | 5Kg |
| 반복 가능성 | ±1.5μm |
| 최소 단위 | 0.1μm |
| 측정 범위 | φ100mm |
|---|---|
| 정확성 | ±1.5μm |
| 용량 | 5Kg |
| 반복 가능성 | ±1.5μm |
| 최소 단위 | 0.1μm |
| 암호# | 520-020 |
|---|---|
| 작업대 | (245x180)mm |
| 유리 작업대 | (130x130)mm |
| X/Y 축 이동 | (100*100)mm |
| X/Y 축 해상도 | 해상도: 0.5um |
| 암호# | 502-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| 차원(WxDxH) | (1337*840*1664)mm |
| 무게 | 600KG |
| Z축 이동 | 200MM |
| 암호# | 503-120J |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| 차원(WxDxH) | (1463*940*1591)mm |
| 무게 | 780 킬로그램 |
| Z축 이동 | 200MM |
| 암호# | 502-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| 차원(WxDxH) | (1337*840*1664)mm |
| 무게 | 600KG |
| Z축 이동 | 200MM |
| 암호# | 500-030 |
|---|---|
| 렌즈 | 0.3X 더블 텔레센트릭 렌즈 |
| 작업 거리 | 110mm |
| 와이드 필드 | 직경 30mm(28x24) |
| 측정 정확도 | ±2um |
| 암호# | 503-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| 차원(WxDxH) | (1195*832*1579)mm |
| 무게 | 650KG |
| Z축 이동 | 200MM |
| 암호# | 502-320J |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| 차원(WxDxH) | (1437*940*1664)mm |
| 무게 | 750kg |
| Z축 이동 | 200MM |
