| 암호# | 531-130 |
|---|---|
| 메탈 스테이지 크기 | 252×252mm |
| 유리 스테이지 크기 | 196×96mm |
| 결의 | 0.5 um |
| 측정 정확도 | ≤5um |
| 암호# | 532-190 |
|---|---|
| X/Y 주축 여행 | 300x200mm |
| 스케일 해상도 | 0.0001 밀리미터 |
| 관찰 이미지 | 앞면 이미지 (정면 이미지 사용 가능) |
| 접안경 튜브 | 쌍안경 접안렌즈: WF10/20 |
| 암호# | 532-160 |
|---|---|
| X/Y 주축 여행 | 300x200mm |
| 스케일 해상도 | 0.0005 밀리미터 |
| 관찰 이미지 | 앞면 이미지 |
| 접안경 튜브 | 쌍안경 접안렌즈: WF10/20 |
| 암호# | 532-180 |
|---|---|
| X/Y 주축 여행 | 200x150mm |
| 스케일 해상도 | 0.0001 밀리미터 |
| 관찰 이미지 | 앞면 이미지 (정면 이미지 사용 가능) |
| 접안경 튜브 | 쌍안경 접안렌즈: WF10/20 |