| 암호# | 521-120G |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (458*358) mm |
| 유리 작업대 | (356*248) mm |
| X/Y 축 이동 | (300*200) mm |
| Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
| 암호# | 521-320F |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (408*308)mm |
| 유리 작업대 | (306*198)mm |
| X/Y 축 이동 | (250*150) mm |
| Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
| 암호# | 521-420E |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (270*350) mm |
| 유리 작업대 | (142*242)mm |
| X/Y 축 이동 | (200*100) mm |
| Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
| 암호# | 521-320J |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (650*580) mm |
| 유리 작업대 | (540*440) mm |
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
| 암호# | 525-020GP |
|---|---|
| 화강암 단계 | (505*350) mm |
| 유리 무대 | (356*248) mm |
| x/y 축 이동 | (300*200) mm |
| 선형 스케일 | 해상도 : 0.5um |
| 암호# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도 : 0.5um |
| 반복성 | 2UM |
| 암호# | 522-120G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200) mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.5 um |
| XY 축 정확도 | ≤2.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 522-420G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200) mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.5 um |
| XY 축 정확도 | ≤2.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 525-380K |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*500)mm |
| Z축 이동 | 300MM |
| X/Y/Z 축 선형 스케일 | 해상도: 0.1um |
| 가이드 모드 | 정밀 선형 안내 레일 |
| 암호# | 523-280N |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (1200*1000) mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤2.5+L/200(㎛) |
