| 암호# | 511-420 |
|---|---|
| 금속 스테이지 크기 | 308x408mm |
| 유리 스테이지 크기 | 198x306mm |
| 스테이지 이동 범위 | 250X150MM |
| 제품 치수 | 1003x617x1309mm |
| 암호# | 511-410 |
|---|---|
| 금속 스테이지 크기 | 308x408mm |
| 유리 스테이지 크기 | 198x306mm |
| 스테이지 이동 범위 | 200x100mm |
| 제품 치수 | 1003x617x1309mm |
| 암호# | 511-420 |
|---|---|
| 금속 스테이지 크기 | 308x408mm |
| 유리 스테이지 크기 | 198x306mm |
| 스테이지 이동 범위 | 250X150MM |
| 제품 치수 | 1003x617x1309mm |
| 암호# | 522-120G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.5 um |
| XY 축 정확도 | ≤2.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 522~120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.5 um |
| XY 축 정확도 | ≤2.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 522-180H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.1 um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
| 암호# | 522-180J |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.1 um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
| 암호# | 522-280G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.1 um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
| 암호# | 522-420G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.5 um |
| XY 축 정확도 | ≤2.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| 반복 가능성 | 2 um |
