| 암호# | 511-420 |
|---|---|
| 금속 스테이지 크기 | 308x408mm |
| 유리 스테이지 크기 | 198x306mm |
| 스테이지 이동 범위 | 250X150MM |
| 제품 차원 | 1003x617x1309mm |
| 암호# | 525-020P |
|---|---|
| 화강암 단계 | (310*220) mm |
| 유리 무대 | (179.5*129.5) mm |
| x/y 축 이동 | (150*100) mm |
| X/Y 선형 스케일 | 해상도 : 0.5um |
| 암호# | 525-020dp |
|---|---|
| 화강암 단계 | (310*220) mm |
| 유리 무대 | (179.5*129.5) mm |
| x/y 축 이동 | (150*100) mm |
| 선형 스케일 | 해상도 : 0.5um |
| 암호# | 521-120G |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (458*358) mm |
| 유리 작업대 | (356*248) mm |
| X/Y 축 이동 | (300*200) mm |
| Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
| 암호# | 521-320F |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (408*308)mm |
| 유리 작업대 | (306*198)mm |
| X/Y 축 이동 | (250*150) mm |
| Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
| 암호# | 521-420E |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (270*350) mm |
| 유리 작업대 | (142*242)mm |
| X/Y 축 이동 | (200*100) mm |
| Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
| 암호# | 521-420J |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (650*580) mm |
| 유리 작업대 | (540*440) mm |
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
| 암호# | 521-320J |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (650*580) mm |
| 유리 작업대 | (540*440) mm |
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
| 암호# | 522-180H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
| 암호# | 522-180J |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
