| 암호# | 542-310 |
|---|---|
| 작업 단계 여행 | 355x125mm |
| x/y 축 이동 | 200x120mm |
| z 축 | 110mm |
| 측정 정확도 | ≤3+l/200um |
| 암호# | 542-310 |
|---|---|
| 작업 단계 여행 | 355x125mm |
| x/y 축 이동 | 200x120mm |
| z 축 | 110mm |
| 측정 정확도 | ≤3+l/200um |
| 암호# | 542-310 |
|---|---|
| 작업 단계 여행 | 355x125mm |
| x/y 축 이동 | 200x120mm |
| z 축 | 110mm |
| 측정 정확도 | ≤3+l/200um |
| 암호# | 542-310 |
|---|---|
| 작업 단계 여행 | 355x125mm |
| x/y 축 이동 | 200x120mm |
| z 축 | 110mm |
| 측정 정확도 | ≤3+l/200um |