암호# | 521-320J |
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대리석 작업대 | (650*580) mm |
유리 작업대 | (540*440) mm |
X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
암호# | 522-120G |
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X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
Z축 이동 | 200MM |
X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.5 um |
XY 축 정확도 | ≤2.0+L/200(㎛) |
암호# | 522~120H |
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X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
Z축 이동 | 200MM |
X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.5 um |
XY 축 정확도 | ≤2.0+L/200(㎛) |
암호# | 522-180H |
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X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
Z축 이동 | 200MM |
X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.1 um |
XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
암호# | 522-180J |
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X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
Z축 이동 | 200MM |
X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.1 um |
XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
암호# | 522-280G |
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X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
Z축 이동 | 200MM |
X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.1 um |
XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
암호# | 522-420G |
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X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
Z축 이동 | 200MM |
X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.5 um |
XY 축 정확도 | ≤2.0+L/200(㎛) |
암호# | 524-220H |
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X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
Z축 이동 | 200MM |
X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
반복 가능성 | 2 um |
암호# | 524-220H |
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X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
Z축 이동 | 200MM |
X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
반복 가능성 | 2 um |
암호# | 528~180H |
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X/Y 축 이동 | (300*400)mm |
Z축 이동 | 200MM |
X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1mm |
XY 축 정확도 | ≤1.2+L/200 ((um) |