| 암호# | 525-020P |
|---|---|
| 화강암 무대 | (310*220)mm |
| 글래스 스테이지 | (179.5*129.5) mm |
| X/Y 축 이동 | (150*100)mm |
| X/Y 선형 스케일 | 해상도: 0.5um |
| 암호# | 525-020P |
|---|---|
| 화강암 무대 | (310*220)mm |
| 글래스 스테이지 | (179.5*129.5) mm |
| X/Y 축 이동 | (150*100)mm |
| X/Y 선형 스케일 | 해상도: 0.5um |
| 암호# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| 반복 가능성 | 2 um |
| 암호# | 521-420J |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (650*580) mm |
| 유리 작업대 | (540*440) mm |
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
| 암호# | 523-280K |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (600*500)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
| 암호# | 528~180H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*400)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1mm |
| XY 축 정확도 | ≤1.2+L/200 ((um) |
| 암호# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도: 0.5um |
| 반복 가능성 | 2 um |
| 암호# | 521-120G |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (458*358) mm |
| 유리 작업대 | (356*248)mm |
| X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
| Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
| 암호# | 521-320F |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (408*308)mm |
| 유리 작업대 | (306*198)mm |
| X/Y 축 이동 | (250*150) mm |
| Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
| 암호# | 521-420E |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (270*350) mm |
| 유리 작업대 | (142*242)mm |
| X/Y 축 이동 | 200*100mm |
| Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
