암호# | 523-280K |
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X/Y 축 이동 | (600*500)mm |
Z축 이동 | 200MM |
X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
암호# | 523-480L |
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X/Y 축 이동 | (800*600)mm |
Z축 이동 | 200MM |
X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
암호# | 523-280L |
---|---|
X/Y 축 이동 | (800*600)mm |
Z축 이동 | 200MM |
X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
암호# | 528~180H |
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X/Y 축 이동 | (300*400)mm |
Z축 이동 | 200MM |
X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1mm |
XY 축 정확도 | ≤1.2+L/200 ((um) |