| 암호# | 525-020ep |
|---|---|
| 화강암 단계 | (390*220) mm |
| 유리 무대 | (229.5*129.5) mm |
| x/y 축 이동 | (200*100) mm |
| 선형 스케일 | 해상도 : 0.5um |
| 암호# | 529-120G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200) mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도 : 0.5um |
| XY 축 정확도 | ≤2.5+L/200(㎛) |
| 암호# | 502-120G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200) mm |
| 크기(WxDxH) | (1237*740*1664)mm |
| 무게 | 380kg |
| Z축 이동 | 200mm |