| 암호# | 523-180M |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (1000*800)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤2.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 523-280H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
| 암호# | 521-120G |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (458*358) mm |
| 유리 작업대 | (356*248) mm |
| X/Y 축 이동 | (300*200) mm |
| Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
| 암호# | 521-320F |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (408*308)mm |
| 유리 작업대 | (306*198)mm |
| X/Y 축 이동 | (250*150) mm |
| Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
| 암호# | 521-420E |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (270*350) mm |
| 유리 작업대 | (142*242)mm |
| X/Y 축 이동 | (200*100) mm |
| Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
| 암호# | 522-180H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
| 암호# | 528~180H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*400)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1mm |
| XY 축 정확도 | ≤1.2+L/200 ((um) |
| 암호# | 522-280G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200) mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
| 암호# | 525-180X |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*1600) mm |
| Z축 이동 | 300MM |
| X/Y/Z 축 선형 스케일 | 해상도: 0.1um |
| 가이드 모드 | 정밀 선형 안내 레일 |
| 암호# | 500-080 |
|---|---|
| 렌즈 | 0.088X 더블 텔레센트릭 렌즈 |
| 작업 거리 | 120mm |
| 와이드 필드 | Ø116mm(94x76) |
| 측정 정확도 | ±4um |
