암호# | 512-400 |
---|---|
작업 스테이지 크기 | 455x126mm |
워킹스테이지 트래블 | 300x150mm |
포커싱 | 120mm |
정확성 | ≤3+L/200(um) |
암호# | 512-400 |
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작업 스테이지 크기 | 455x126mm |
워킹스테이지 트래블 | 300x150mm |
포커싱 | 120mm |
정확성 | ≤3+L/200(um) |
암호# | 512-400 |
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작업 스테이지 크기 | 455x126mm |
워킹스테이지 트래블 | 300x150mm |
포커싱 | 120mm |
정확성 | ≤3+L/200(um) |