| 암호# | 512-350 |
|---|---|
| 작업 스테이지 크기 | 355x126mm |
| 작업 단계 여행 | 200x100mm |
| 초점 | 90mm |
| 정확성 | ≤3+L/200(um) |
| 암호# | 525-020P |
|---|---|
| 화강암 단계 | (310*220) mm |
| 유리 무대 | (179.5*129.5) mm |
| x/y 축 이동 | (150*100) mm |
| X/Y 선형 스케일 | 해상도 : 0.5um |
| 암호# | 525-020dp |
|---|---|
| 화강암 단계 | (310*220) mm |
| 유리 무대 | (179.5*129.5) mm |
| x/y 축 이동 | (150*100) mm |
| 선형 스케일 | 해상도 : 0.5um |
| 암호# | 523-280K |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (600*500)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
| 암호# | 523-180M |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (1500*1200)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤3.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 521-420J |
|---|---|
| 대리석 작업대 | (650*580) mm |
| 유리 작업대 | (540*440) mm |
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| Z축 이동 | 유효 이동 거리 200mm |
| 암호# | 528~180H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*400)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1mm |
| XY 축 정확도 | ≤1.2+L/200 ((um) |
| 암호# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도 : 0.5um |
| 반복성 | 2UM |
| 암호# | 522-120G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200) mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.5 um |
| XY 축 정확도 | ≤2.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 528~180H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*400)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1mm |
| XY 축 정확도 | ≤1.2+L/200 ((um) |
