| 암호# | 512-400 |
|---|---|
| 작업 스테이지 크기 | 455x126mm |
| 워킹스테이지 트래블 | 300x150mm |
| 포커싱 | 120mm |
| 정확성 | ≤3+L/200(um) |
| 암호# | 512-400 |
|---|---|
| 작업 스테이지 크기 | 455x126mm |
| 워킹스테이지 트래블 | 300x150mm |
| 포커싱 | 120mm |
| 정확성 | ≤3+L/200(um) |
| 암호# | 512-400 |
|---|---|
| 작업 스테이지 크기 | 455x126mm |
| 워킹스테이지 트래블 | 300x150mm |
| 포커싱 | 120mm |
| 정확성 | ≤3+L/200(um) |
| 암호# | 511-410 |
|---|---|
| 금속 스테이지 크기 | 308x408mm |
| 유리 스테이지 크기 | 198x306mm |
| 스테이지 이동 범위 | 200x100mm |
| 제품 치수 | 1003x617x1309mm |
| 암호# | 511-420 |
|---|---|
| 금속 스테이지 크기 | 308x408mm |
| 유리 스테이지 크기 | 198x306mm |
| 스테이지 이동 범위 | 250X150MM |
| 제품 치수 | 1003x617x1309mm |
| 암호# | 511-420 |
|---|---|
| 금속 스테이지 크기 | 308x408mm |
| 유리 스테이지 크기 | 198x306mm |
| 스테이지 이동 범위 | 250X150MM |
| 제품 치수 | 1003x617x1309mm |
| 암호# | 522-120G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.5 um |
| XY 축 정확도 | ≤2.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 522~120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.5 um |
| XY 축 정확도 | ≤2.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 522-180H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.1 um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
| 암호# | 522-180J |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*400)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.1 um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
