| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| 암호# | 525-020P |
|---|---|
| 화강암 무대 | (310*220)mm |
| 글래스 스테이지 | (179.5*129.5) mm |
| X/Y 축 이동 | (150*100)mm |
| X/Y 선형 스케일 | 해상도: 0.5um |
| 암호# | 512-350 |
|---|---|
| 작업 스테이지 크기 | 355x126mm |
| 워킹스테이지 트래블 | 200x100mm |
| 포커싱 | 90 밀리미터 |
| 정확성 | ≤3+L/200(um) |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |