| 암호# | 525-020dp |
|---|---|
| 화강암 단계 | (310*220) mm |
| 유리 무대 | (179.5*129.5) mm |
| x/y 축 이동 | (150*100) mm |
| 선형 스케일 | 해상도 : 0.5um |
| 암호# | 525-020P |
|---|---|
| 화강암 단계 | (310*220) mm |
| 유리 무대 | (179.5*129.5) mm |
| x/y 축 이동 | (150*100) mm |
| X/Y 선형 스케일 | 해상도 : 0.5um |
| 암호# | 512-350 |
|---|---|
| 작업 스테이지 크기 | 355x126mm |
| 작업 단계 여행 | 200x100mm |
| 초점 | 90mm |
| 정확성 | ≤3+L/200(um) |
| 암호# | 542-310 |
|---|---|
| 작업 단계 여행 | 355x125mm |
| x/y 축 이동 | 200x120mm |
| z 축 | 110mm |
| 측정 정확도 | ≤3+l/200um |
| 암호# | 542-310 |
|---|---|
| 작업 단계 여행 | 355x125mm |
| x/y 축 이동 | 200x120mm |
| z 축 | 110mm |
| 측정 정확도 | ≤3+l/200um |