| 암호# | 525-020ep |
|---|---|
| 화강암 단계 | (390*220) mm |
| 유리 무대 | (229.5*129.5) mm |
| x/y 축 이동 | (200*100) mm |
| 선형 스케일 | 해상도 : 0.5um |
| 암호# | 525-020GP |
|---|---|
| 화강암 단계 | (505*350) mm |
| 유리 무대 | (356*248) mm |
| x/y 축 이동 | (300*200) mm |
| 선형 스케일 | 해상도 : 0.5um |
| 암호# | 525-020dp |
|---|---|
| 화강암 단계 | (310*220) mm |
| 유리 무대 | (179.5*129.5) mm |
| x/y 축 이동 | (150*100) mm |
| 선형 스케일 | 해상도 : 0.5um |