| 암호# | 511-420 |
|---|---|
| 금속 스테이지 크기 | 308x408mm |
| 유리 스테이지 크기 | 198x306mm |
| 스테이지 이동 범위 | 250X150MM |
| 제품 치수 | 1003x617x1309mm |
| 암호# | 511-410 |
|---|---|
| 금속 스테이지 크기 | 308x408mm |
| 유리 스테이지 크기 | 198x306mm |
| 스테이지 이동 범위 | 200x100mm |
| 제품 치수 | 1003x617x1309mm |
| 암호# | 511-420 |
|---|---|
| 금속 스테이지 크기 | 308x408mm |
| 유리 스테이지 크기 | 198x306mm |
| 스테이지 이동 범위 | 250X150MM |
| 제품 치수 | 1003x617x1309mm |
| 암호# | 511-330 |
|---|---|
| 금속 스테이지 크기 | 258x308mm |
| 유리 스테이지 크기 | 148x206mm |
| 스테이지 이동 범위 | 150x100mm |
| 제품 치수 | 988x563x1157mm |
| 암호# | 511-330 |
|---|---|
| 금속 스테이지 크기 | 258x308mm |
| 유리 스테이지 크기 | 148x206mm |
| 스테이지 이동 범위 | 150x100mm |
| 제품 치수 | 988x563x1157mm |
| 암호# | 511-340 |
|---|---|
| 금속 스테이지 크기 | 258x358mm |
| 유리 스테이지 크기 | 148x256mm |
| 스테이지 이동 범위 | 200x100mm |
| 제품 치수 | 988x563x1157mm |
| 암호# | 525-180N |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (1000*1000)mm |
| Z축 이동 | 300mm |
| X/Y/Z 축 선형 스케일 | 해상도: 0.1um |
| 가이드 모드 | 정밀 선형 안내 레일 |
| 암호# | 525-180X |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*1600) mm |
| Z축 이동 | 300mm |
| X/Y/Z 축 선형 스케일 | 해상도: 0.1um |
| 가이드 모드 | 정밀 선형 안내 레일 |
| 암호# | 528~180H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*400)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1mm |
| XY 축 정확도 | ≤1.2+L/200 ((um) |
| 암호# | 523-280K |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (600*500)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
