| 암호# | 502-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 0.5 um |
| 암호# | 503-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| 크기(WxDxH) | (1195*832*1579)mm |
| 무게 | 650kg |
| 암호# | 528~180H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*400)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1mm |
| 비메아322A | 524-220G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200) mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도 : 0.5um |
| 암호# | 524-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도 : 0.5um |
| 암호# | 529-120G |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*200) mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도 : 0.5um |
| 암호# | 529-120H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (400*300)mm |
| Z축 이동 | 200mm |
| X/Y/Z 3축 선형 스케일(mm) | 해상도 : 0.5um |