| 암호# | 512-350 |
|---|---|
| 작업 스테이지 크기 | 355x126mm |
| 워킹스테이지 트래블 | 200x100mm |
| 포커싱 | 90 밀리미터 |
| 정확성 | ≤3+L/200(um) |
| 암호# | 512-400 |
|---|---|
| 작업 스테이지 크기 | 455x126mm |
| 워킹스테이지 트래블 | 300x150mm |
| 포커싱 | 120mm |
| 정확성 | ≤3+L/200(um) |
| 암호# | 512-400 |
|---|---|
| 작업 스테이지 크기 | 455x126mm |
| 워킹스테이지 트래블 | 300x150mm |
| 포커싱 | 120mm |
| 정확성 | ≤3+L/200(um) |
| 암호# | 512-400 |
|---|---|
| 작업 스테이지 크기 | 455x126mm |
| 워킹스테이지 트래블 | 300x150mm |
| 포커싱 | 120mm |
| 정확성 | ≤3+L/200(um) |
| 암호# | 512-350 |
|---|---|
| 작업 스테이지 크기 | 355x126mm |
| 워킹스테이지 트래블 | 200x100mm |
| 포커싱 | 90 밀리미터 |
| 정확성 | ≤3+L/200(um) |
| 암호# | 525-180N |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (1000*1000)mm |
| Z축 이동 | 300mm |
| X/Y/Z 축 선형 스케일 | 해상도: 0.1um |
| 가이드 모드 | 정밀 선형 안내 레일 |
| 암호# | 525-180X |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*1600) mm |
| Z축 이동 | 300mm |
| X/Y/Z 축 선형 스케일 | 해상도: 0.1um |
| 가이드 모드 | 정밀 선형 안내 레일 |
| 암호# | 528~180H |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (300*400)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1mm |
| XY 축 정확도 | ≤1.2+L/200 ((um) |
| 암호# | 523-280K |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (600*500)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
| 암호# | 523-480L |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (800*600)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤1.8+L/200(㎛) |
