| 암호# | 523-180M |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (1500*1200)mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤3.0+L/200(㎛) |
| 암호# | 525-380K |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (500*500)mm |
| Z축 이동 | 300mm |
| X/Y/Z 축 선형 스케일 | 해상도: 0.1um |
| 가이드 모드 | 정밀 선형 안내 레일 |
| Range of Travel(mm) | 600*800*600 |
|---|---|
| Maximum weight of the measured workpiece | 300Kg |
| Machine Weight | 730Kg |
| 3D Max. Speed (mm/s) | 520 |
| 3D Max. Acceleration (mm/s²) | 1730 |
| 암호# | 523-280N |
|---|---|
| X/Y 축 이동 | (1200*1000) mm |
| Z축 이동 | 200MM |
| X/Y/Z 축 선형 척도 | 해상도: 0.1um |
| XY 축 정확도 | ≤2.5+L/200(㎛) |
