ST-5000G 정밀 슬릿 코팅 시험기
제품소개:번호
장비 사양 및 구성:
적용 가능한 기판:
(1)
| 필름 형성 방법 | 500mm*500mm | (2) |
| 두께 | ＜10u | (3) |
| 필름 형성 균일성 | ＜15° | (4) |
| 기판 온도 | 23±2℃ | 적용 가능한 액체: |
(1)
| 필름 형성 방법 | 이소프로판올, DMF, DMSO 및 기타 유기 용매 또는 기타 혼합 용매 | (2) |
| 두께 | 300nm~10um(건조 필름) | (3) |
| 필름 형성 균일성 | 7%~50% | 장비 공정 성능: |
(1)
| 필름 형성 방법 | 슬롯 코팅 | (2) |
| 두께 | 300nm~10um(건조 필름) | (3) |
| 필름 형성 균일성 | 5% ≤ 필름 내, 5% ≤ 필름 간 | 코팅 다이 |
:번호
| 브랜드 | 기술 매개변수 | 비고 | 1 |
| 클린 커버, 작동 인터페이스, 전기 제어 상자 및 기타 위치에는 EMO 스위치가 장착되어 있으며 비상 시 여러 지점을 신속하게 정지할 수 있습니다. | 000 등급 화강암 | 2 | |
| 기계 위험의 원인은 페일 세이프 하드웨어 연동 장치를 사용하며, 장비의 보호 덮개가 열릴 때 부상을 유발할 수 있는 장치의 작업을 중지합니다. | 450mm | 3 | |
| 장비는 눈에 띄거나 고객이 지정한 위치에 가청 및 시각 경보 장치가 설치되어 있습니다. | ≤3um | 4 | |
| 장비는 외부 덮개로 격리되어 있으며, 작동 중에는 외부 환경으로부터 먼지 덮개를 유지하면서 인원의 출입을 방지합니다. | Ra≤0.025 | 5 | |
| 유기 휘발성 가스의 코팅은 배기 연결로 설계되었습니다. | 개스킷 유형, 개스킷 두께 균일성 ≤±2um | 6 | |
| 물, 전기 및 화학 물질 사용을 위한 장비의 설계는 국가 안전 표준을 충족합니다. | ≤±10um | 7 | |
| 슈나이더 | ≤10mm | 8 | |
| 슈나이더/CHINT | 립보다 20um 낮아 립의 충돌을 효과적으로 방지합니다. | 9 | |
| Y축 모션 표면 정확도 | 고정밀 선형 변위 센서로 자동 보정됩니다. | 10 | |
| Y축 반복성 | 다이 챔버는 높은 수준이며 높은 수준의 소포 구멍이 있습니다. | 코팅 펌프: |
번호
| 브랜드 | 기술 매개변수 | 비고 | 1 |
| 클린 커버, 작동 인터페이스, 전기 제어 상자 및 기타 위치에는 EMO 스위치가 장착되어 있으며 비상 시 여러 지점을 신속하게 정지할 수 있습니다. | SUS316L | 2 | |
| 기계 위험의 원인은 페일 세이프 하드웨어 연동 장치를 사용하며, 장비의 보호 덮개가 열릴 때 부상을 유발할 수 있는 장치의 작업을 중지합니다. | 내식성 씰 | 3 | |
| 장비는 눈에 띄거나 고객이 지정한 위치에 가청 및 시각 경보 장치가 설치되어 있습니다. | 5ml | 4 | |
| 장비는 외부 덮개로 격리되어 있으며, 작동 중에는 외부 환경으로부터 먼지 덮개를 유지하면서 인원의 출입을 방지합니다. | 서보 모터, 볼 스크류 | 5 | |
| 유기 휘발성 가스의 코팅은 배기 연결로 설계되었습니다. | 0.01ul/s | 6 | |
| 물, 전기 및 화학 물질 사용을 위한 장비의 설계는 국가 안전 표준을 충족합니다. | 0.01s | 7 | |
| 슈나이더 | 0~2000ul/s | 8 | |
| 슈나이더/CHINT | 2000ul/s² | 9 | |
| Y축 모션 표면 정확도 | 1) 코팅 가속 및 감속을 설정하고 조정할 수 있습니다. |
2) 액체 배출 지연 기능; 3) 터미널 흡입 기능; 4) 자동 재수화 기능; 5) 다단계 코팅 조정; 모션 구성 요소: |
|
| 브랜드 | 기술 매개변수 | 비고 |
| 클린 커버, 작동 인터페이스, 전기 제어 상자 및 기타 위치에는 EMO 스위치가 장착되어 있으며 비상 시 여러 지점을 신속하게 정지할 수 있습니다. | 2개 | 2 |
| 기계 위험의 원인은 페일 세이프 하드웨어 연동 장치를 사용하며, 장비의 보호 덮개가 열릴 때 부상을 유발할 수 있는 장치의 작업을 중지합니다. | 0.1um | 3 |
| 장비는 눈에 띄거나 고객이 지정한 위치에 가청 및 시각 경보 장치가 설치되어 있습니다. | 서보 모터, 연삭 등급 스크류, 가이드 레일 | 8 |
| 장비는 외부 덮개로 격리되어 있으며, 작동 중에는 외부 환경으로부터 먼지 덮개를 유지하면서 인원의 출입을 방지합니다. | ≤5um | 11 |
| 유기 휘발성 가스의 코팅은 배기 연결로 설계되었습니다. | 0~50mm/s | 6 |
| 물, 전기 및 화학 물질 사용을 위한 장비의 설계는 국가 안전 표준을 충족합니다. | 플랫폼 구동 | 7 |
| 슈나이더 | 서보 모터, 연삭 등급 스크류, 가이드 레일 | 8 |
| 슈나이더/CHINT | 0~200mm/s | 9 |
| Y축 모션 표면 정확도 | ±5um보다 우수 | 10 |
| Y축 반복성 | ≤5um | 11 |
| 기능 구성 | 1) 코팅 가속 및 감속을 설정하고 조정할 수 있습니다. |
2) 코팅 간격 조정 가능; 3) 엔드 리트랙션 간격 조정 가능; 코팅 플랫폼: |
번호
| 브랜드 | 기술 매개변수 | 비고 | 1 |
| 클린 커버, 작동 인터페이스, 전기 제어 상자 및 기타 위치에는 EMO 스위치가 장착되어 있으며 비상 시 여러 지점을 신속하게 정지할 수 있습니다. | 000 등급 화강암 | 2 | |
| 기계 위험의 원인은 페일 세이프 하드웨어 연동 장치를 사용하며, 장비의 보호 덮개가 열릴 때 부상을 유발할 수 있는 장치의 작업을 중지합니다. | 500*500mm | 3 | |
| 장비는 눈에 띄거나 고객이 지정한 위치에 가청 및 시각 경보 장치가 설치되어 있습니다. | 수준 ≤±5um | 4 | |
| 장비는 외부 덮개로 격리되어 있으며, 작동 중에는 외부 환경으로부터 먼지 덮개를 유지하면서 인원의 출입을 방지합니다. | 플랫폼 진공 흡착 | 5 | |
| 유기 휘발성 가스의 코팅은 배기 연결로 설계되었습니다. | 수동 | 3 | |
| 물, 전기 및 화학 물질 사용을 위한 장비의 설계는 국가 안전 표준을 충족합니다. | 수동 | 3 |
번호
| 브랜드 | 기술 매개변수 | 비고 | 1 |
| 클린 커버, 작동 인터페이스, 전기 제어 상자 및 기타 위치에는 EMO 스위치가 장착되어 있으며 비상 시 여러 지점을 신속하게 정지할 수 있습니다. | PFA | 2 | |
| 기계 위험의 원인은 페일 세이프 하드웨어 연동 장치를 사용하며, 장비의 보호 덮개가 열릴 때 부상을 유발할 수 있는 장치의 작업을 중지합니다. | 박리 재료, 100ml 용량 | 3 | |
| 장비는 눈에 띄거나 고객이 지정한 위치에 가청 및 시각 경보 장치가 설치되어 있습니다. | 탱크에 가압 | 4 | |
| 장비는 외부 덮개로 격리되어 있으며, 작동 중에는 외부 환경으로부터 먼지 덮개를 유지하면서 인원의 출입을 방지합니다. | 스테인리스 스틸로 제작 | 사전 코팅 세척 장치: |
번호
| 브랜드 | 기술 매개변수 | 비고 | 1 |
| 클린 커버, 작동 인터페이스, 전기 제어 상자 및 기타 위치에는 EMO 스위치가 장착되어 있으며 비상 시 여러 지점을 신속하게 정지할 수 있습니다. | 사전 코팅 플랫폼 | 2 | |
| 기계 위험의 원인은 페일 세이프 하드웨어 연동 장치를 사용하며, 장비의 보호 덮개가 열릴 때 부상을 유발할 수 있는 장치의 작업을 중지합니다. | 수동 | 3 | |
| 장비는 눈에 띄거나 고객이 지정한 위치에 가청 및 시각 경보 장치가 설치되어 있습니다. | 장비 유휴 시, 파이프라인이 깨끗하고 폐기물이 배출될 때 사용됩니다. | 인간-컴퓨터 인터페이스: |
|
브랜드 |
기술 매개변수 | 비고 | 1 |
| 클린 커버, 작동 인터페이스, 전기 제어 상자 및 기타 위치에는 EMO 스위치가 장착되어 있으며 비상 시 여러 지점을 신속하게 정지할 수 있습니다. | 사전 코팅 플랫폼 | 2 | |
| 기계 위험의 원인은 페일 세이프 하드웨어 연동 장치를 사용하며, 장비의 보호 덮개가 열릴 때 부상을 유발할 수 있는 장치의 작업을 중지합니다. | 각 기판의 코팅 공정을 볼 수 있으며, 코팅 공정의 각 시점의 코터의 각 축의 속도 및 위치 매개변수를 포함합니다. | 3 | |
| 장비는 눈에 띄거나 고객이 지정한 위치에 가청 및 시각 경보 장치가 설치되어 있습니다. | 로그인할 수 있는 세 가지 유형의 작업 권한. |
장치의 수동, 반자동 및 자동 작업은 모두 인터페이스에서 작동할 수 있습니다. 먼지 덮개 |
| 브랜드 | 기술 매개변수 | 비고 | 1 |
| 클린 커버, 작동 인터페이스, 전기 제어 상자 및 기타 위치에는 EMO 스위치가 장착되어 있으며 비상 시 여러 지점을 신속하게 정지할 수 있습니다. | 합금, 펀치 플레이트, FFU, 밀봉 스트립 | 2 | |
| 기계 위험의 원인은 페일 세이프 하드웨어 연동 장치를 사용하며, 장비의 보호 덮개가 열릴 때 부상을 유발할 수 있는 장치의 작업을 중지합니다. | 투명하여 코팅 상태를 실시간으로 관찰할 수 있습니다. FFU 퍼징 마이크로 양압은 외부 환경이 외부 환경에서 클래스 1,000보다 우수하도록 보장합니다. | 3 | |
| 장비는 눈에 띄거나 고객이 지정한 위치에 가청 및 시각 경보 장치가 설치되어 있습니다. | 외부 덮개는 유기 배기 포트를 예약하고 인터페이스 크기는 DN80입니다. | 구성 |
체크리스트 : 주요 구성:번호
이름
| 브랜드 | 브랜드 위치 | 1 | PLC |
| 클린 커버, 작동 인터페이스, 전기 제어 상자 및 기타 위치에는 EMO 스위치가 장착되어 있으며 비상 시 여러 지점을 신속하게 정지할 수 있습니다. | 독일 | 2 | 서보 모터 |
| 기계 위험의 원인은 페일 세이프 하드웨어 연동 장치를 사용하며, 장비의 보호 덮개가 열릴 때 부상을 유발할 수 있는 장치의 작업을 중지합니다. | 중국 | 3 | HMI |
| 장비는 눈에 띄거나 고객이 지정한 위치에 가청 및 시각 경보 장치가 설치되어 있습니다. | 중국 | 4 | HMI |
| 장비는 외부 덮개로 격리되어 있으며, 작동 중에는 외부 환경으로부터 먼지 덮개를 유지하면서 인원의 출입을 방지합니다. | 일본 | 5 | 베어링 |
| 유기 휘발성 가스의 코팅은 배기 연결로 설계되었습니다. | 일본/독일 | 6 | 소형 회로 차단기 |
| 물, 전기 및 화학 물질 사용을 위한 장비의 설계는 국가 안전 표준을 충족합니다. | 프랑스/중국 | 장치 안전 구성: | 1 |
| 슈나이더 | 프랑스 | 8 | 에어 스위치 |
| 슈나이더/CHINT | 프랑스/중국 | 장치 안전 구성: | 1 |
비상 스위치
| 클린 커버, 작동 인터페이스, 전기 제어 상자 및 기타 위치에는 EMO 스위치가 장착되어 있으며 비상 시 여러 지점을 신속하게 정지할 수 있습니다. | 2 | 안전 연동 |
| 기계 위험의 원인은 페일 세이프 하드웨어 연동 장치를 사용하며, 장비의 보호 덮개가 열릴 때 부상을 유발할 수 있는 장치의 작업을 중지합니다. | 3 | 소리 및 빛 경보 |
| 장비는 눈에 띄거나 고객이 지정한 위치에 가청 및 시각 경보 장치가 설치되어 있습니다. | 4 | 클린 커버 |
| 장비는 외부 덮개로 격리되어 있으며, 작동 중에는 외부 환경으로부터 먼지 덮개를 유지하면서 인원의 출입을 방지합니다. | 5 | 환기 및 배기 |
| 유기 휘발성 가스의 코팅은 배기 연결로 설계되었습니다. | 6 | 기타 |
| 물, 전기 및 화학 물질 사용을 위한 장비의 설계는 국가 안전 표준을 충족합니다. |
